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塘廈蝕刻加工 Fecl3蝕刻是最早使用的一·種用于銅及臺金蝕刻的加工方法，這種方法，原料容易獲得，價格便宜，配制簡單，易于操作，因此這一方法曾經(jīng)被廣泛采用，即便是現(xiàn)在也被較多的銅蝕刻廠所采用。但這種方法對環(huán)境污染較重而被其他的蝕刻方法所逐漸取代。
Fecl，對銅的蝕刻是一個氧化還原過程，在銅表面Fe3+銅氧化成Cucl3同時Fe3被還原成Fe3+
cu+FecI，一cucl十Fe~：1， (5 41)
cucl離子具有還原性，和蝕刻液葉J的Fe¨進一步反應(yīng)生成cucl，。
Cucl+FeCl、一(：ucl2+FeCl 2 (5—42)
生成的cucl2具有氧化性，同樣會與銅發(fā)生氧化還原反應(yīng)。
cu+c∞12——2cucl (5—43)
所以，F(xiàn)eC：l，蝕刻液是依靠Fecl，和cucl：同時完成的。其中n¨的氧化能力強，蝕刻速度快．蝕刻質(zhì)量好。相對而言，cucI2在這里蝕刻速度較世，蝕刻質(zhì)量差，隨著蝕刻液中Fe3的消耗和cuCL2的增大而使蝕刻速度逐漸減慢，并使蝕刻質(zhì)量惡化。當(dāng)Fe3消耗量達50％時，蝕刻速度及蝕刻質(zhì)量都將不利于繼續(xù)進行蝕刻過程．而應(yīng)更換蝕刻液。
在實際生產(chǎn)中，表示蝕刻液的蝕刻效能不是片F(xiàn)e3的消耗量來衡量，而是采用蝕刻液中銅的溶解量(單位為昏g/l)來衡量。銅在FeCl3蝕刻溶液中，最初蝕刻速度是恒定的。然而，隨著蝕刻液中Fe¨的消耗，蝕刻液中銅含量不斷升高，當(dāng)溶銅量達到60g／L時，蝕刻速度會變慢，當(dāng)蝕刻液中Fe3消耗達到40％時或溶銅量達到83g/L時，蝕刻速度會急劇下降，此時的蝕刻液不能再繼續(xù)使用，而應(yīng)考慮蝕刻液的再生或更新。
通常使用的FeCl 3蝕刻液酸度都不高，所以FecL3蝕刻液在蝕刻銅時，也伴有FeCl，和CuCI，的水解副反應(yīng)：
Fecl，+3H：O—Fe(OH)3 J+3HCI (5 44)
cucl2+2H20一cu(on)2 +2HC：l (5 45)
生成的氯氧化物不穩(wěn)定，受熱易分解牛成相應(yīng)的氧化物和水，這些氧化物一部分沉淀在蝕刻槽底部形成黃土樣沉積物，一部分懸浮于蝕刻液中，對抗蝕層產(chǎn)生一定的破壞作用。
2Fe(OH)，一Fe202+3H3O (5—46)
cu(OH)2—cuO +H2O (5 47)