道滘腐蝕加工 烘烤時(shí)間和韞度，不同型號(hào)的液體光致抗蝕劑有不同的要求，可參照其相應(yīng)的產(chǎn)品說明書和具體生產(chǎn)實(shí)踐來決定。烘烤方式分烘道式和烘箱式兩種，使用烘箱時(shí)，烘箱一定要帶有鼓風(fēng)裝置和恒溫控制，以使各部分烘烤溫度均勻。烘烤時(shí)間應(yīng)在烘箱達(dá)到設(shè)定溫度時(shí)開始計(jì)算?？刂坪煤婵緶囟群蜁r(shí)間非常重要，烘烤溫度過高或過長，都會(huì)使膜層發(fā)生部分熱聚合，增加顯影和去膜的難度。烘烤時(shí)間過短或溫度過低，在曝光時(shí)，底版容易粘附在感光膜卜，揭下底片時(shí)底版容易受到損傷。

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