企石蝕刻加工 在產品說明書上都會標出光致抗蝕膜層的厚度(注意是光致抗蝕膜層的厚度,而不是包括聚酯膜和聚乙烯膜的整個干膜厚度),可根據不同的需要選擇不同厚度的感光膜。精細強文可選用光致抗蝕層厚度為25um的下膜;圖形電鍍可選用光致抗蝕層厚度為38µm的干膜;需要進行遮避的孔或需要長時間蝕刻的場合,可選擇光致抗蝕層厚度為50µm的干膜。干膜厚度的尺寸公差技術要求見表3—6。