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金屬蝕刻工藝的結構性特點
所謂結構性，是指工藝流程中各工序的組成形式及各工序之間的關聯關系等，其工序之間組成形式的邏輯關系有兩種:“與”的關系和“或”的關系。這種關系對于學過電子學的讀者來
說很容易理解，在這里用一個圖1一2所示的電路形式來說明。
圖1 -2(a)是與門的邏輯關系，從圖中可以看出，如果需要燈泡發(fā)光，必須將4個關開全部按下才能完成這一邏輯關系的成立。圖1一2(b)是或門的邏輯關系，這時如果需要邏輯關
系成立只需按下任意一個開關就可以了。如果是由圖1 -2(a)與I -2(b)同時組成的邏輯關系就稱為“與或”門邏輯關系。
在這里用“與”和“或”可能不易理解，也可以換一種方式來理解。從圖中也可以看出，1一2(a)的開關是串聯關系，1一2(b)的開關是并聯關系，在這里就用“串聯”和“并聯”來討論工
藝的結構性，請讀者首先要記住，采用這種“與”和“或”的關系式不能完全按電路的邏輯去思維，特別是“或”的邏輯關系，按電路思維，可以是一個開關按下，也可以按下4個開關，但在工藝流程中不可能將一個工件同時放在兩種或兩種以上的溶液中進行處理，所以如果把這種邏輯關系用在工藝流程上就對這一邏輯關系有限制，即使是并聯關系也只能是多選一。
對于絕大部分的工藝流程都是以串聯為主的結構，部分上下工序之間也存在著多項選擇的并聯選一的關系。在工藝流程的申聯結構中是按照順序執(zhí)行的程序進行，而并聯關系中是
按多選一的方式進行，在這里的多選也有兩種方式:任選和有條件地選，這要看具體情況具體分析，不可一概而論。比如除油，常用的化學除油方法有強堿除油、弱堿除油、弱酸除油、弱酸除油等4種，當要對某一工件進行除油處理時就有了4種選一的方案，如果工件表面污染輕，在不考慮溶液對工件的腐蝕性的前提下這4種方法都可采用，但傾向采用弱堿或弱酸的除油方式;如果工件表面污染較重，則只有選擇強堿或強酸的除油處理，同樣是不考慮溶液對工件的腐蝕性問題。在這里要注明一下，在除油中還有一種電解除油，對于污染嚴重的工件或要求很高的工件往往需要化學除油和電解除油聯合采用，而這種聯合使用其實已變成了串聯關系。
對于一些大型工件的除油往往也會采用二次化學除油的方式，他們之間是屬于串聯關系。
在工藝流程中為了保證對產品生產的有效控制，關鍵工序之間還會有回饋的關聯，也可稱為反饋，以確保產品質最的穩(wěn)定和生產的正常進行。圖1一3所示是一個工藝流程的結構